L'evaporació de la màquina de recobriment al buit és un procés important
Deixa un missatge
L'evaporació de la màquina de recobriment al buit és un procés important
S'analitzen les característiques del control del gruix de la pel·lícula del recobridor de feix d'electrons EI-5Z. Amb l'ajuda de resultats experimentals i investigacions teòriques, es va redissenyar una placa d'ajust més pràctica i es va obtenir un millor rendiment de la pel·lícula: la desviació dins del substrat estava dins del ± 3 per cent i la desviació entre el mateix lot de substrats estava dins del rang de ±5 per cent dins. Complir els requisits de la producció en massa.
En la producció de semiconductors, l'evaporació és un procés important. La precisió del control del gruix de la pel·lícula és un indicador clau per mesurar l'efecte d'evaporació, que afecta directament el procés de producció posterior i el rendiment del producte final. En la producció en massa, d'una banda, es posa èmfasi en la mesura precisa del gruix de la pel·lícula i, d'altra banda, la uniformitat del gruix de la pel·lícula, és a dir, el canvi de gruix de la pel·lícula amb la superfície del substrat i el canvi de gruix de la pel·lícula. entre substrats a diferents posicions del bastidor— També hi ha exigències elevades.
El principi bàsic de l'evaporació de la màquina de recobriment al buit
L'evaporació és la tècnica més antiga en el mètode de dipòsit de pel·lícules primes en condicions de buit. Amb el pas del temps, en moltes aplicacions, s'ha anat substituint gradualment per altres mètodes, com SPUTERRING o PECVD, però sempre que grans superfícies requereixen una deposició elevada de pel·lícules primes, la tecnologia d'evaporació segueix sent la solució més utilitzada i econòmica.
El principi tècnic de l'evaporació és molt senzill. La substància a evaporar (font d'evaporació) es col·loca en un recipient específic (gresol) en una cambra específica on es realitzarà l'operació d'evaporació, i s'escalfa a una determinada temperatura en condicions de buit. Hi ha dos mètodes per escalfar el material evaporat, mitjançant un feix d'electrons excitat per un camp magnètic induït o per escalfament de fil de resistència. A la part de la cambra d'evaporació que no està protegida per la persiana, les substàncies evaporades es dipositaran a la superfície formant una pel·lícula fina.
www.superbheater.com
