Mètode d'evaporació a tres temperatures del tub de calefacció elèctric de galvanoplastia al buit

Mètode d'evaporació a tres temperatures del tub de calefacció elèctric de galvanoplastia al buit

En principi, el mètode de tres temperatures és un mètode d'evaporació de font de doble evaporació. No obstant això, les propietats dels compostos del grup III a V són diferents de les dels aliatges i també s'utilitzen amb el propòsit de fer recobriments de cristall únic. Per tant, tècnicament és diferent del mètode de deposició de vapor amb dues fonts d'evaporació. En general, les pressions de vapor dels dos metalls que formen l'aliatge no són gaire diferents. Per exemple, a 1000K, la pressió de vapor de Co, Fe, Ni és d'aproximadament 10^-10Pa, Cr és 10^-9Pa, Pd és 10^-8Pa, Al , Be, Cu, Sn són 10^-6Pa, Ag és 10 ^-4Pa.

Per contra, en els compostos del grup III ~ V, la pressió de vapor de l'element del grup V és molt superior a la de l'element del grup III perquè no es pot mesurar el valor de pressió de vapor a baixa temperatura de l'element del grup III. Per tant, s'estima a partir del valor de pressió de vapor a alta temperatura.

Dispositiu de recobriment de tubs de calefacció elèctric de galvanoplastia al buit

escalfador; 2-substrat; 3-escalfador; 4-forat d'entrada d'aire; 5-cilindre d'oxigen; 6-vàlvula de fuites ajustable; 7-vàlvula d'aturada; 8-SiO2; 9-NA2O

La majoria dels sistemes de bombeig dels equips de buit utilitzats en el mètode d'evaporació reactiva utilitzen bombes de difusió d'oli. A causa de la composició i l'estructura cristal·lina del recobriment resultant, varia amb la pressió del gas de l'atmosfera, la velocitat d'evaporació de les molècules de la font d'evaporació i la temperatura del substrat. Per tant, s'han de prendre mesures perquè aquestes quantitats siguin ajustables.

Mètode d'evaporació de la reacció del tub de calefacció elèctric de galvanoplastia al buit

El mètode d'introducció del gas actiu a la cambra de recobriment al buit mitjançant la reacció química entre els àtoms (molècules) del gas actiu i els àtoms evaporats de la font d'evaporació per generar el recobriment compost s'anomena mètode d'evaporació reactiva. La reacció pot tenir lloc a l'espai gasós, a la superfície del substrat, o tots dos. Entre ells, la reacció es realitza principalment sobre el substrat. El progrés de la reacció sol estar relacionat amb factors com la pressió parcial del gas de reacció, la temperatura d'evaporació, la velocitat d'evaporació i la temperatura del substrat, i el recobriment obtingut pot ser un aliatge metàl·lic o un compost. Actualment, aquest mètode s'ha utilitzat àmpliament en la preparació de pel·lícules compostes aïllants.

www.superbheater.com