El material de la màquina de recobriment al buit s'evapora i es transporta al substrat per a la deposició i la formació de pel·lícules
Deixa un missatge
El material de la màquina de recobriment al buit s'evapora i es transporta al substrat per a la deposició i la formació de pel·lícules
El recobriment per evaporació al buit és un mètode de recobriment al buit per escalfar i evaporar el material en condicions de buit per sublimar el corrent de partícules evaporades directament al substrat i dipositar una pel·lícula sòlida al substrat, o escalfar i evaporar el material de recobriment.
El procés físic és des de l'evaporació i el transport dels materials al substrat per a la deposició i la formació de pel·lícules. El procés físic és: Convertir en energia tèrmica mitjançant diversos mètodes energètics, escalfar el material de revestiment perquè s'evapori o sublim i es converteixi en partícules gasoses amb una certa energia ({{0}},1~0,3eV) (àtoms, molècules o grups atòmics); deixant la superfície del material de recobriment, les partícules gasoses amb una velocitat de moviment considerable es transporten a la superfície del substrat en un vol recte substancialment lliure de col·lisions; les partícules gasoses que arriben a la superfície del substrat es condensen, es nucleen i creixen en una pel·lícula en fase sòlida; composició Els àtoms de la pel·lícula reorganitzen o creen enllaços químics.
Els principals desavantatges de la tecnologia d'arc de recobriment al buit:
- El material objectiu és limitat
- Utilitzar només metalls (sense òxids), donant lloc a baixes temperatures d'evaporació
- A causa de l'alta densitat de corrent, part del material objectiu s'evapora i esquitxa en petites gotes
Avantatges de la tecnologia d'arc de recobriment al buit:
més alta taxa de deposició (~1-3 µm/h)
més alta taxa d'ionització, formant un recobriment dens i ben unit
més refrigeració objectiu, menys escalfament de la peça recoberta, que permet la deposició per sota dels 100 graus
a més, pot evaporar metalls de diverses composicions i la composició de l'objectiu sòlid restant es manté sense canvis
més El càtode es pot col·locar en qualsevol posició (horitzontal, vertical, superior i inferior), disseny flexible del dispositiu
Moviment de l'arc de la màquina de recobriment al buit
El moviment de l'arc està controlat per un camp magnètic. El plasma format pels ions metàl·lics evaporats es dipositarà a la superfície de la peça. Aquestes peces es fan girar a la cambra de buit. El recobriment preparat per l'arc sol aplicar-se a la superfície d'eines i peces. revestiment.
www.superbheater.com
