Màquina de recobriment al buit Requisits tècnics de buit d'evaporació

Màquina de recobriment al buit Requisits tècnics de buit d'evaporació

1. L'estructura de l'equip ha de tenir un disseny raonable, un aspecte bonic, fàcil d'utilitzar i fàcil de mantenir.

2. L'estructura i la mida dels segells estàtics i dinàmics de l'equip han de complir amb les disposicions de GB/T 6070 i JB/T 1090-1092.

3. Els manòmetres de buit s'han d'instal·lar a les canonades de baix buit i alt buit i a les cambres de recobriment per mesurar la pressió de cada peça respectivament.

4. Si la unitat de buit de l'equip utilitza una bomba de difusió com a bomba principal, s'ha d'instal·lar un deflector o trampa de fred a l'entrada d'aire de la bomba de difusió.

5. Hi ha d'haver una finestra d'observació a la sala de recobriment i s'han d'instal·lar lents anti-raigs a la finestra d'observació per als equips que generen radiació durant el procés de recobriment.

6. Els equips amb dispositiu de cocció de peces han de tenir elèctrodes de mesura de la temperatura o dispositius de mesura de la temperatura.

7. La velocitat de rotació del mecanisme de rotació del suport de la peça ha de complir els requisits de disseny del producte.

8. L'equip equipat amb un dispositiu de bombardeig iònic o un dispositiu de font d'ions de baixa energia de feix ample ha de poder funcionar de manera contínua i estable durant més de 30 minuts dins dels paràmetres especificats als requisits de disseny del producte.

9. L'escalfador que utilitza filferro de tungstè com a font de calor d'evaporació ha de permetre que el material d'evaporació s'evapori normalment, i la geometria de l'escalfador no hauria d'afectar l'evaporació normal durant el procés d'evaporació.

10. L'estat de treball de la font d'evaporació de l'equip ha de ser estable i fàcil d'ajustar i controlar. Els requisits tècnics per a diverses fonts d'evaporació (com ara fonts d'evaporació de resistència, fonts d'evaporació de feix d'electrons, fonts d'evaporació de feix d'ions, fonts d'evaporació làser, fonts d'evaporació inductiva, etc.) s'han d'especificar d'acord amb les normes de producte corresponents.

11. Quan l'equip adopta una font d'evaporació de baixa tensió i resistència d'alta corrent, cada escalfador de font d'evaporació hauria de funcionar normalment a una tensió de 4V a 20V i un corrent de 50A a 180A.

www.superbheater.com