La màquina de recobriment al buit utilitza una font d'alimentació d'alta freqüència i s'afegeix un condensador fort al bucle.
Deixa un missatge
La màquina de recobriment al buit utilitza una font d'alimentació d'alta freqüència i s'afegeix un condensador fort al bucle.
Per resoldre aquest problema, es va inventar la polverització reactiva del magnetrón. És a dir, utilitzant un objectiu metàl·lic, afegint argó i un gas reactiu com el nitrogen o l'oxigen. Quan l'objectiu de metall colpeja la peça, es combina amb el gas reactiu per formar nitrurs o òxids a causa de la conversió d'energia.
És fàcil polsar metalls i aliatges amb fonts diana de magnetrons, i l'encesa i la polsadora són convenients. Això es deu al fet que l'objectiu (càtode), el plasma i la cambra de buit de la part polveritzada poden formar un circuit. Però si els aïllants sputtering com la ceràmica, el circuit es trenca. Així que la gent utilitza una font d'alimentació d'alta freqüència i afegeix un condensador fort al bucle. D'aquesta manera, el material objectiu es converteix en un condensador del circuit aïllant.
Per augmentar la taxa d'utilització del material objectiu, la màquina de recobriment al buit pot utilitzar un camp magnètic giratori
La interacció entre el camp magnètic i els electrons s'utilitza per fer que els electrons funcionin en forma d'espiral a prop de la superfície objectiu, augmentant així la probabilitat que els electrons xoquin amb el gas argó per generar ions. Els ions generats xoquen contra la superfície de l'objectiu sota l'acció d'un camp elèctric per expulsar l'objectiu. En el desenvolupament de les últimes dècades, els imants permanents s'han anat adoptant gradualment i els imants de bobina rarament s'utilitzen. Independentment de l'equilibri o el desequilibri, si l'imant és estacionari, les seves característiques de camp magnètic determinen que la taxa d'utilització de l'objectiu general és inferior al 30 per cent. Per augmentar la taxa d'utilització del material objectiu, es pot utilitzar un camp magnètic giratori. Però la rotació del camp magnètic requereix un mecanisme de rotació i, al mateix temps, es redueix la velocitat de pulverització.
www.superbheater.com
