La probabilitat de dipositar pel·lícula d'Al sobre el substrat de la recobridora al buit és igual
Deixa un missatge
La probabilitat de dipositar pel·lícula d'Al sobre el substrat de la recobridora al buit és igual
S'utilitza l'evaporació del feix d'electrons de la màquina de recobriment al buit, el mecanisme planetari gira uniformement quan es diposita la pel·lícula i la probabilitat de cada substrat quan es diposita la pel·lícula Al és igual; el focus del mecanisme planetari es troba a la font d'evaporació del gresol i la taxa de deposició de cada substrat està sota un cert grau de buit. gairebé igual. Utilitzant el mètode de recobriment de polverització de magnetron de la màquina de recobriment al buit, ja que es pot controlar el corrent de deposició i la tensió objectiu, és a dir, la potència de polverització es pot ajustar i controlar, la controlabilitat i repetibilitat del gruix de la pel·lícula són bones i es pot utilitzar en superfícies més grans. S'obté una pel·lícula amb un gruix uniforme.
El gruix de la pel·lícula Al de la màquina de recobriment al buit afectarà directament altres propietats de la pel·lícula Al
És molt important controlar estrictament el gruix de la pel·lícula Al, ja que el gruix de la pel·lícula Al afectarà directament altres propietats de la pel·lícula Al, afectant així la fiabilitat del dispositiu semiconductor. Per al tub de potència de contrapressió d'alta, la seva tensió de treball és alta i el corrent és gran. Sense un cert gruix de la pel·lícula metàl·lica, la densitat actual de la pel·lícula d'Al per unitat d'àrea serà massa alta, cosa que és fàcil de cremar. Per als dispositius semiconductors generals, si la capa d'Al és massa prima, la continuïtat de la pel·lícula és deficient i té una estructura d'illa o de malla, cosa que dificulta la unió dels cables, dificultant la unió o l'enllaç dèbil, afectant així el rendiment; la capa d'Al Si és massa gruixuda, el patró no es pot veure clarament durant la fotolitografia, cosa que dificulta la corrosió i és propens a la corrosió de vora i al fenomen de "connexió".
www.superbheater.com
