Característiques tècniques de l'objectiu de polverització de magnetrons de doble porta per a platejat al buit
Deixa un missatge
Característiques tècniques de l'objectiu de polverització de magnetrons de doble porta per a platejat al buit
(1) El cos de la cambra de buit independent es combina en una línia, posició multiobjectiu, es pot seleccionar un recobriment simultani d'alta eficiència, gran capacitat, de doble cara o d'una sola cara.
(2) Vàlvula de porta de buit independent, projecte d'aïllament al buit més fiable
(3) Sistema de bombeig de buit de bomba molecular, velocitat de bombeig estable, net i sense oli
(4) Es pot afegir el disseny del sistema de la cambra de buit i el recobriment de pel·lícula multicapa es pot realitzar després de l'expansió.
(5) Disseny d'estructura d'objectius optimitzat, alta taxa d'utilització de l'objectiu
(6) Procés de deposició de polverització estable i d'alta velocitat
(7) Adopteu un ordinador industrial, un sistema de control PLC per realitzar un funcionament automàtic, una interfície de diàleg home-màquina de pantalla tàctil, menú multifunció
(8) Sistema de control precís del manòmetre de buit compost amb una alta precisió de mesura per garantir un control precís del sistema de buit
(9) Sistema de control de flux de gas d'alta precisió, alta precisió de mesura i velocitat de resposta ràpida, per garantir una atmosfera de treball estable i controlable, un funcionament estable de l'objectiu, una deposició de pel·lícula estable i un gruix de pel·lícula consistent
(10) L'equip té un alt grau d'automatització, realitzant un funcionament no tripulat, i la peça de treball pot tornar automàticament a l'estació designada abans i després del recobriment
Pel·lícula d'òxid d'estany de plata d'indi al buit
La pel·lícula d'òxid d'estany d'indi (índi òxid d'estany, abreujada ITO) és un material conductor transparent àmpliament utilitzat, que s'ha utilitzat de manera madura en parabrises de vehicles de motor, dispositius de visualització de cristall líquid, cèl·lules solars, holografia i televisors en color de cristall líquid, etc. El potencial El camp d'aplicació és la pantalla orgànica del díode emissor de llum (Organic Light-Emitting Diode, OLED per abreujar). Des del punt de vista de l'aplicació, normalment es requereix que la composició de la pel·lícula ITO sigui In2O3 i SnO2, i els compostos menys valents d'indi i estany a la pel·lícula, millor. Hi ha molts mètodes de preparació per a pel·lícules primes d'ITO, com ara la polvorització, l'evaporació, la pulverització de radiofreqüència i la pulverització de magnetrons.
La línia de producció de recobriments continus horitzontals ITO/ISI és un equip de producció contínua de magnetró planar a gran escala. Adopta un disseny modular, que és convenient per a una futura expansió i actualització. Està equipat amb múltiples conjunts de càtodes de magnetrons a gran escala, que es poden aplicar a la combinació de diverses estructures de pel·lícula; Control totalment automàtic, sistema de transmissió d'alta estabilitat, que es pot connectar perfectament amb el manipulador per aconseguir operacions de línia de muntatge contínues i estables; ritme de producció ràpid i gran producció.
www.superbheater.com
