Sputtering RF del tub de calefacció elèctric de galvanoplastia al buit
Deixa un missatge
Sputtering RF del tub de calefacció elèctric de galvanoplastia al buit
S'utilitza la font d'alimentació de RF en lloc de la font d'alimentació de CC i s'aplica una tensió d'alta freqüència entre l'objectiu i el substrat. Durant la sputtering, l'objectiu produirà un efecte d'auto-biaix (és a dir, l'objectiu estarà automàticament en un estat potencial negatiu), de manera que es pot mantenir la sputtering de l'objectiu aïllant. . Una freqüència que s'utilitza habitualment és d'uns 13,56 MHz.
Avantatges i desavantatges de la galvanoplastia al buit amb díodes de tub de calefacció elèctrica
avantatge
Estructura simple
mancança
Només es poden pulveritzar materials metàl·lics amb bona conductivitat elèctrica
L'eficiència de la pulverització és baixa
Sputtering de díodes del tub de calefacció elèctric de galvanoplastia al buit
S'afegeix un corrent continu d'alta tensió entre l'objectiu i el substrat, el gas (generalment Ar2) entre les plaques s'ionitza i els ions carregats d'alta velocitat bombardegen la superfície de l'objectiu amb la tecnologia de recobriment de pulverització. Per mantenir la descàrrega autosostenida, la pressió del gas de descàrrega és generalment tan alta com 10 Pa a una distància de pulverització normal amb una distància de diversos centímetres entre les dues plaques polars, cosa que és perjudicial per a l'eficiència i la qualitat de la pel·lícula. Per tant, la descàrrega no autosostenida s'utilitza sovint en la pulverització de CC, és a dir, la pulverització quadripolar amb l'addició d'emissors termoiònics i ànodes auxiliars, de manera que la pulverització es pot dur a terme a una pressió baixa de 10-1 a { {7}} Pa.
Avantatges i desavantatges de la galvanoplastia al buit, l'evaporació de la calefacció per inducció del tub de calefacció elèctrica
avantatge
La velocitat d'evaporació és gran, que pot ser unes 10 vegades més gran que la de la font d'evaporació de resistència
La temperatura de la font d'evaporació és estable i no és fàcil generar esquitxades
La temperatura del gresol és més baixa i el material del gresol té menys contaminació a la membrana
mancança
L'evaporador ha d'estar blindat
Alt cost i equipament complex
www.superbheater.com
