Paràmetres d'ajust de la pulverització catòdica de Magnetron de la recobridora al buit
Deixa un missatge
Paràmetres d'ajust de la pulverització catòdica de Magnetron de la recobridora al buit
L'àmplia aplicació de l'equip de recobriment de magnetrons està determinada per les característiques de la tecnologia, que es poden resumir de la següent manera: es poden utilitzar diversos materials que es poden preparar en objectius com a materials de pel·lícula fina, inclosos diversos metalls, semiconductors, materials ferromagnètics, així com òxids aïllants, ceràmiques, polímers, etc.
A més, els paràmetres d'ajust de la polverització de magnetrons poden ajustar el rendiment de la pel·lícula, especialment adequat per a un recobriment d'àrea gran, i l'àrea de deposició és més uniforme.
La impedància del plasma de polverització de magnetrons al buit és baixa
L'equip de recobriment per polverització de magnetrons pot preparar una varietat de pel·lícules primes, pel·lícules primes amb diferents funcions, i també pot dipositar mescles i pel·lícules primes compostes amb components barrejats; La impedància del plasma de polverització de magnetrons és baixa, donant lloc a un corrent de descàrrega elevat, a una tensió d'uns 500 V. El corrent de descàrrega pot ser d'1 A a 100 A (depenent de la longitud del càtode); la velocitat de formació de pel·lícules és alta i la velocitat de deposició es pot canviar d'1 nm/s a 10 nm/s; la consistència de la formació de la pel·lícula és bona, fins i tot en el càtode de diversos metres de llarg. En el cas de la pulverització, encara es pot assegurar la consistència de la capa de pel·lícula; l'augment de temperatura del substrat és baix; l'energia de les partícules polveritzades és d'unes desenes d'electrons volts, la formació de la pel·lícula és relativament densa i la base de la pel·lícula està ben unida.
La temperatura de calefacció de l'equip de la màquina de recobriment al buit és massa alta:
Com que la potència de l'escalfador de la bomba de difusió no coincideix amb la potència nominal, és massa alta, donant lloc a una gran quantitat de vapor, que pot provocar el retorn d'oli, i es pot resoldre substituint el cable del forn elèctric.
El canal d'aigua de refrigeració de la màquina de recobriment al buit no és suau o la pressió de l'aigua no és suficient:
Com a resultat, la capacitat de refrigeració es redueix, la part superior de la bomba de difusió s'escalfa i el vapor d'oli no es pot liquar bé. La solució és connectar la canonada d'entrada de la bomba de difusió amb una font d'aire de 4mpa per bufar l'escala, i la canonada de sortida també es bufa a 4mpa. Si l'escala és molt gruixuda i ferma, es pot introduir àcid clorhídric diluït. O substituïu la bomba de difusió.
www.superbheater.com
