Explicació de la tecnologia de calibratge de temperatura per al termòmetre del forn de recuit a alta temperatura

S'informa que el forn de recuit d'alta temperatura adopta un sistema de control de llaç tancat format per un controlador de temperatura PLD digital accelerat, termopar, piròmetre i font de calor per controlar correctament la temperatura. Mitjançant el control col·laboratiu de les làmpades halògenes a diferents regions, la diferència de temperatura a cada regió es pot compensar durant el procés de control de temperatura, mantenint la temperatura de diferents regions del substrat sense canvis. A causa de la seva instal·lació a la part inferior de la cavitat, el piròmetre només pot rebre radiació de la part posterior del substrat i no pot rebre radiació de la làmpada. Per tant, un piròmetre pot mesurar amb precisió la temperatura del substrat. El principi de calibratge de temperatura d'aquest piròmetre és el següent:
1. Introducció al piròmetre:
El piròmetre introduït en aquest article és un piròmetre òptic de radiació tèrmica. Quan el piròmetre rep radiació infraroja de l'objecte mesurat, el senyal òptic es filtra, es converteix fotoelèctric i s'amplifica per convertir-se en un senyal analògic, que després es transmet al mòdul de circuit d'interfície de senyal del sensor. Aquest mòdul realitza la conversió A/D del senyal i el converteix en un senyal digital que pot ser reconegut per l'ordinador. El senyal digital retornat a l'ordinador s'anomena valor de retroalimentació del piròmetre en el text següent.
2. Taula de calibratge de temperatura:
Segons les lleis rellevants, la temperatura d'un objecte està relacionada amb la seva radiació i emissivitat espectral. Per als forns de recuit d'alta temperatura, la quantitat de radiació rebuda pel piròmetre depèn principalment de factors com el material del substrat, el dopatge, la capa d'òxid natural a la superfície i la temperatura del substrat. Per al mateix tipus de substrat (és a dir, substrats amb el mateix material, dopatge i capa d'òxid natural superficial), la quantitat de radiació rebuda pel piròmetre està relacionada amb la temperatura del substrat. Per tant, per al mateix tipus de substrat, el valor de retroalimentació del piròmetre es correspon un a un amb la temperatura del substrat. Aquesta correspondència constitueix dades de calibratge de temperatura i s'utilitza una taula de calibratge de temperatura per emmagatzemar les dades de relació entre temperatures de substrats múltiples i valors de retroalimentació d'un piròmetre. Les diferents temperatures corresponen a diferents valors de retroalimentació del piròmetre. L'ordinador del forn de recuit d'alta temperatura pot calcular la temperatura real del substrat en funció de la retroalimentació del valor del senyal del piròmetre i de la taula de calibratge de temperatura.