Deposició de pel·lícules primes sobre substrats mitjançant el mètode sputtering d'un recobridor al buit
Deixa un missatge
Deposició de pel·lícules primes sobre substrats mitjançant el mètode sputtering d'un recobridor al buit
La pulverització catòdica és un fenomen en el qual s'utilitzen partícules carregades (generalment ions positius de gas inert) per bombardejar la superfície d'un sòlid (en endavant, l'objectiu), provocant així que els àtoms (o molècules) de la superfície de l'objectiu s'escapin. això. Aquest fenomen va ser descobert per Grove el 1842 mentre estudiava experimentalment el problema de la corrosió catòdica, quan el material del càtode es va migrar a la paret del tub de buit. El recobridor al buit va utilitzar aquest mètode de pulverització per dipositar pel·lícules primes sobre el substrat es va introduir el 1877.
Classificació i àmbit d'aplicació de la màquina de recobriment al buit
Normalment, el mètode de desgasificació de la peça que utilitzem és la cocció, i el gas i la humitat de la peça es descarreguen per escalfament. Abans del recobriment, la peça de treball s'escalfa mentre es bombeja. Juntament amb el gas de la cambra de buit, és bombejat per la bomba de buit.
Es prenen diferents mesures de desgasificació per a diferents peces de treball per controlar eficaçment l'emissió de gas i humitat dins de la peça de treball i millorar l'estabilitat i la uniformitat del recobriment. Classificació i àmbit d'aplicació de la màquina de recobriment al buit La màquina de recobriment al buit es refereix principalment a un tipus de recobriment que s'ha de dur a terme sota buit elevat, incloent molts tipus, inclosa l'evaporació d'ions al buit, la catòfora de magnetrons, l'epitaxia de feix molecular MBE, la deposició per pulverització làser PLD. I tants tipus.
La probabilitat de la màquina de recobriment al buit depèn de les propietats físiques de la mateixa peça
Algunes peces de treball tenen una gran quantitat de gas, humitat, etc. Aquestes substàncies seran abocades a la cambra de buit quan s'escalfa l'equip, reduint el grau de buit. A més, alguns gasos tenen components tòxics, que danyen directament la cambra de buit. L'estructura mecànica interna fa que l'equip no funcioni correctament. A més, durant el procés de recobriment, a causa de l'escalfament i l'expansió del gas a la peça de treball, és fàcil trencar la pel·lícula recoberta. Per descomptat, la probabilitat d'aquesta situació depèn de les propietats físiques de la peça de treball, com ara els plàstics que són fàcils d'expandir, la probabilitat és relativament alta. Per a materials durs com el metall, la probabilitat és relativament baixa, però no es pot ignorar, de manera que la desgasificació de la peça és molt necessària.
L'estat de buit és l'entorn que admet el funcionament de la màquina de recobriment al buit, especialment els equips que requereixen un alt grau de buit. Normalment hem d'aconseguir un alt grau de buit. El paper del sistema d'extracció d'aire és indispensable, però a més del sistema d'extracció d'aire, en l'equip de recobriment al buit En el procés d'operació, un altre punt és la desgasificació de la peça.
www.superbheater.com
